Высокочастотный разряд - электрический разряд в газах
под действием электрического ВЧ-поля. Высокочастотный разряд может возникать
при расположении электродов как внутри разрядной трубки, так и вне её
(безэлектродный разряд ),а также при фокусировке эл.- магн.
излучения в свободном газе, в частности в атмосфере (сверхвысокочастотный разряд
и оптические разряды ).
Осн. физ. процессы и особенности высокочастотного разряда: под действием
электрич. ВЧ-поля электроны приобретают большие энергии и оказываются способны
эффективно ионизировать при соударениях атомы или молекулы газа (см. Ионизация); потери электронов из газоразрядной плазмы
Высокочастотные разряды происходят за счёт объёмной
рекомбинации, "прилипания" к молекулам и диффузии; распределение электронов
по энергиям может иметь сложный характер, существенно отличающийся от Максвелла
распределения; процессы на граничных поверхностях при
высокочастотных разрядах менее существенны,
чем при разряде в пост. электрич. поле. Амплитуда ВЧ-поля, необходимого для
возникновения высокочастотных разрядов, увеличивается с ростом давления газа и частоты поля. Погасание
разряда происходит при существенно более слабых полях, зависящих от условий
рекомбинации и диффузии. Область существования высокочастотных разрядов в
зависимости от амплитуды и частоты электрич. поля
имеет гистерезисный характер. При больших давлениях газа (близких к атмосферному)
высокочастотные разряды между двумя электродами наз. высокочастотной короной, а при достаточной
мощности источника он переходит в высокочастотную дугу. Удаляя один электрод,
можно получить факельный разряд .При низких давлениях режим
высокочастотного разряда близок режиму положительного столба тлеющего разряда.
Высокочастотный разряд используется в ионных
источниках для создания плазмы, в качестве источника света в спектроскопии,
в мощных молекулярных лазерах для создания однородной активной среды (см. Газовый
лазер), в плазмохимии для изучения хим. реакций в газах, в экспериментах
по проблеме управляемого термоядерного синтеза для первичного пробоя газа.
А. В. Гуревич
|
|
 |
