Термодесорбционная спектрометрия - методы исследования адсорбционно-десорбционных процессов на поверхности твёрдого тела, помещённого в вакуумную камеру, путём измерения в ней давления газа или потока нейтральных частиц, десорбируемых с поверхности тела при её нагреве (т. е. при термодесорбции). Для регистрации десорбируемых частиц применяют ионизационные манометры и масс-спектрометры. Последние позволяют регистрировать до 10-5 от адсорбированного монослоя (при площади поверхности 1 см2). В качестве адсорбентов обычно используют грани монокристаллов, текстуриро-ванные ленты и поликристаллич. нити. Для получения параметров термодесорбции применяют программированный нагрев. Т. с. используется для определения концентрации адсорбированных частиц, энергии связи адсорбированных частиц с подложкой и друг с другом, а также для анализа фазовых переходов и хим. превращений в адсорбированных слоях. Десорбируемые радикалы могут вступать в реакции с газами, адсорбированными на внутр. стенках прибора, и вызывать десорбцию вторичных частиц, искажающую результаты анализа. Для подавления этих нежелательных эффектов стенки прибора покрывают пленкой активного вещества (при температуре жидкого азота), способного связывать попадающие на стенки частицы (режим "черной" камеры).