Атомный зонд - микроанализатор с пространственным разрешением порядка размера атома, представляющий собой полевой
ионный микроскоп (ионный проектор)в сочетании с масс-спектрометром. Полевой ионный микроскоп визуализирует поверхность проводящего кристалла
с атомным разрешением. Далее выбранный для исследования атом (или атомы) удаляется
с поверхности, ионизуется за счёт полевого испарения или десорбции полем, а затем направляется в масс-спектрометр для идентификации. А. з. выявляет
не только массу, но и кратность анализируемого заряда. Существует неск. типов
А. з.
Первый А. з. был построен Э. Мюллером (E. W. Mullеr) с сотрудниками (1968). Это был узкоапертурный А. з. с анализом ионов по времени пролёта (т. н. времяпролётный А. з.). В этом приборе экран полевого ионного микроскопа имеет небольшое зондовое отверстие, на к-рое с помощью механич. системы наводится изображение выбранного оператором анализируемого атома. Затем короткий высоковольтный импульс напряжения , складывающийся со стационарным напряжением V0, создающим изображение, производит полевое испарение (или десорбцию) атомов поверхности, и в т. ч. выбранного атома.
Все образовавшиеся ионы с зарядом пе приобретают полную кинетич. энергию уже у самого острия полевого ионного микроскопа. После прохождения зондового отверстия в катоде ион с массой M движется с постоянной скоростью по дрейфовому пространству длиной l и регистрируется в конце дрейфа детектором. Время t пролёта иона, зависящее от отношения массы к его заряду, определяется как . Отсюда идентифицируемое отношение массы к заряду: В дальнейшем времяпролётный А. з. был усовершенствован: для увеличения яркости полевого ионного изображения стали использовать микроканальные электронно-ионные умножители.
В пространстве дрейфа располагали тороидальную
электростатич. систему, отклоняющую траектории ионов почти назад (на 163,2°)
и фокусирующую затем ионы, возникшие на объекте с нек-рым разбросом скоростей,
в групповые пакеты ионов одного сорта на приёмной микроканальной пластине. Такой
А. з. надёжно обеспечивает масс-спектрометрич. разрешение =
1/1000 (на полувысоте пика). Этого достаточно для определения гидридных ионов
и разл. изотопов любых элементов. Времяпролётный А. з. позволяет одновременно
наблюдать полный спектр (любые массы) от избранного участка объекта. Однако
для обеспечения высокого масс-спектрометрич. разрешения этого прибора необходим
крайне короткий (~10 нс) ионизирующий импульс с крутыми фронтами, что затрудняет
применение нек-рых объектов исследования, напр. высокоомных полупроводников.
Замена в атомном зонде времяпролётного масс-спектрометра статическим магнитным (т. н.
магнитный атомный зонд) сняла жёсткие требования к ионизирующему импульсу (в практике
такой прибор может работать и в стационарном режиме). Тем самым стало возможным
изучение полупроводников. Магн. А. з. характеризуется высоким разрешением по
массам. Однако он не позволяет в одном опыте просмотреть все возможные массы,
а требует настройки на определ. участок спектра.
Узкоапертурный атомный зонд в состоянии анализировать
одновременно лишь малую область объекта. Это ограничение снимает широкоугольный
времяпролётный А. з., в к-ром в качестве детектора ионов используется вогнутая
сферическая микроканальная пластина, а остриё-объект помещается в центр кривизны
пластины. Все ионы, возникающие на исследуемой поверхности, проходят одинаковое
расстояние до детектора, разделяясь во время дрейфа на пакеты в соответствии
с отношением заряда к массе. Широкоугольный А. з. позволяет выявлять эффекты
анизотропии и др. непредвиденные локальные эффекты.
Если ввести в электрич. цепи А. з. блоки,
запирающие детектор и открывающие его лишь на краткий момент прихода ионов с
заданным отношением
, а также регулирующие время отпирания детектора, то можно выбирать сорт регистрируемых
ионов. Тем самым вид ионов в этом приборе задаётся заранее, а на экране наблюдают
кристаллографич. анизотропию мест рождения ионов. Это т.н. изображающий А. з.
В атомном зонде с лазерной подсветкой энергетич.
добавка, необходимая для полевого испарения, вносится за счёт короткого лазерного
импульса, облучающего объект. Крутые фронты светового импульса не искажаются
при подаче на объект и не зависят от его электрич. сопротивления. Поэтому достигается
вдвое-втрое большее разрешение по массам. Таким А. з. можно исследовать полупроводники
и даже диэлектрич. слои на проводящей поверхности.
Атомный зонд применяется в тех задачах физ. эксперимента, когда атомное разрешение необходимо дополнить идентификацией
природы атомов. Послойное испарение полем позволяет анализировать не только
поверхность, но и приповерхностную толщу объекта. С помощью А. з. исследуют
разл. задачи физики металлов: упорядочение в сплавах, детальное распределение
состава границ раздела фаз, адсорбцию на металлах и нач стадии хим. реакций
(напр., окисление) и т. п. С помощью А з решаются вопросы селективного полевого
испарения атомов разл сортов А. з. используется для изучения процессов ионизации
в сильных электрич. полях. При этом были обнаружены новые явления: полевая адсорбция
инертных газов (при полях ~108 В/см); образование комплексных ионов
- соединений металла подложки с активными и даже инертными газами; образование
многозарядных ионов металлов с кратностью заряда, доходящей до 5-6. А. з. имеет
большие перспективы при исследованиях локализации примесей, при изучении строения
органич. молекул, при изучении механизмов перемещения адсорбированных посторонних
атомов на поверхности (см. Поверхностная диффузия)и т. п.
В. H Шредник