Фоторезисты - материалы органич. и неорганич. происхождения, чувствительные к оптич. излучению видимого
или УФ-диапазона; применяются в фотолитографии для получения рельефного
покрытия заданной топологии. Формирование в слое Ф., нанесённого на к--л. подложку,
рельефных областей заданной конфигурации происходит в результате его локального
экспонирования и последующего проявления. При локальном экспонировании в Ф.
идут физ--хим. превращения с изменением размера, структуры или полярности молекул,
ведущие к изменению свойств покрытий и возможности удаления при проявлении облучённых
или необлучённых участков. Если в результате экспонирования хорошо растворимыми
становятся облучённые участки и они удаляются в процессе проявления, то Ф. наз.
позитивным; если в процессе проявления удаляются необлучённые участки,
Ф. наз. негативным. Полученное таким способом рельефное покрытие служит
защитой нижележащего рабочего слоя от воздействия травлений.
Ф. используют в виде жидких
композиций, к-рые наносят на рабочий слой с помощью центрифуг, валков или пульверизаторов
и формируют плёнки толщиной от десятых долей до десятков микрон. Большей разрешающей
способностью обладают т. н. вакуумные позитивные и негативные Ф., к-рые представляют
собой слои мин. толщины, полученные методом вакуумного напыления. Кроме того,
применяются т.н. сухие плёночные Ф.- пластичные светочувствит. слои толщиной
10-100 мкм, заключённые между лавсановой плёнкой - основой - и защитной полиэтиленовой
плёнкой. Слои наносятся на подложку накаткой.
В качестве жидких позитивных
Ф. используют составы на основе светочувствит. производных о-диазокетонов
и плёнкообразующих фенольных и др. смол. Из числа негативных жидких Ф.- на основе
сенсибилизированного поливинилциннамата, поливинилового спирта и полиизо-преновых
циклокаучуков со светочувствит. диазидами. Вакуумные Ф. представляют собой слои
красителей, цин-наматов, халькогенидных стёкол и др. В сухих плёночных Ф. в
качестве светочувствит. слоя применяют сенсибилизированные фотополимеризующиеся
композиции с акрилат-ными мономерами и олигомерами, к-рые резко изменяют свою
растворимость под действием УФ- и видимого света вследствие образования пространственно
сшитой полимерной структуры.
Ф. чувствительны к излучению
в широком спектральном диапазоне УФ- и видимого излучений, но особенно широко
используется УФ-излучение ртутных ламп и эксимерных лазеров, что наиб. приемлемо
в пром. условиях производства интегральных схем для микроэлектроники.
В зависимости от типа Ф. их светочувствительность находится в пределах 2-20
см2/Дж, а разрешающая способность - 100-1000 мм-1. Микродефектность
(число невытравленных точек на проявленных участках после проявления) для лучших
Ф. достигает 0,05 см-2.
Жидкие и вакуумные Ф. используют в осн. в микроэлектронике для создания интегральных схем. Кроме того, жидкие Ф. применяют в фототехнологии изготовления элементов голограммной, а также элементов и схем интегральной оптики. Сухие плёночные Ф. используют для изготовления печатных плат.
Релятивисты и позитивисты утверждают, что "мысленный эксперимент" весьма полезный интрумент для проверки теорий (также возникающих в нашем уме) на непротиворечивость. В этом они обманывают людей, так как любая проверка может осуществляться только независимым от объекта проверки источником. Сам заявитель гипотезы не может быть проверкой своего же заявления, так как причина самого этого заявления есть отсутствие видимых для заявителя противоречий в заявлении.
Это мы видим на примере СТО и ОТО, превратившихся в своеобразный вид религии, управляющей наукой и общественным мнением. Никакое количество фактов, противоречащих им, не может преодолеть формулу Эйнштейна: "Если факт не соответствует теории - измените факт" (В другом варианте " - Факт не соответствует теории? - Тем хуже для факта").
Максимально, на что может претендовать "мысленный эксперимент" - это только на внутреннюю непротиворечивость гипотезы в рамках собственной, часто отнюдь не истинной логики заявителя. Соответсвие практике это не проверяет. Настоящая проверка может состояться только в действительном физическом эксперименте.
Эксперимент на то и эксперимент, что он есть не изощрение мысли, а проверка мысли. Непротиворечивая внутри себя мысль не может сама себя проверить. Это доказано Куртом Гёделем.
Понятие "мысленный эксперимент" придумано специально спекулянтами - релятивистами для шулерской подмены реальной проверки мысли на практике (эксперимента) своим "честным словом". Подробнее читайте в FAQ по эфирной физике.
|
|
 |
