Фотолитография. РЕАЛЬНАЯ ФИЗИКА. Глоссарий по физике

Фотолитография

Фотолитография - способ формирования изделий разл. типа с использованием светочувствит. материалов. Ф. применяется в полиграфии для фотомеханич. изготовления печатных форм на формном материале (камне или металлич. пластине) в результате фотодубления или фотополимеризации светочувствит. слоя. Этот способ отличается высокой трудоёмкостью и многооперационностью, но широко используется для изготовления офсетных форм, обеспечивающих высококачеств. воспроизведение сложных оригиналов. В процессе фотодубления-применяются поливиниловый спирт, низкомолекулярные смолы (связующие), соли хрома и диазосоединения (сенсибилизаторы), обеспечивающие фотосшивку макромолекул. В состав фотополимеризующихся композиций входят мономеры или низкомолекулярные полимеры и инициаторы фотополимеризации, сенсибилизаторы.

В электронике Ф. используется для формирования рельефного рисунка в слое металла, диэлектрика или полупроводника с применением фоторезистов и источников УФ-излучения в процессе изготовления интегральных схем и др. электронных устройств. В зависимости от требуемого размера элементов интегральных схем применяют контактную (при низком разрешении) или проекционную (при высоком разрешении) Ф. Проекционная Ф. обеспечивает создание сверхбольших интегральных схем типа дина-мич. оперативных запоминающих устройств ёмкостью до 64 Мбит и более при использовании наиб. коротковолнового УФ-излучения эксимерных лазеров ( l~=193 нм). При этом предельные мин. размеры элементов сверхбольших интегральных схем, получаемых методом Ф., практически ограничиваются интерференцией и дифракцией света и достигают 0,35 мкм.

С 90-х гг. развивается т. н. ф о т о с т е р е о л и т о г р а-ф и я-способ получения объёмных изделий из жидких фотополимеризующихся композитов путём послойной фотополимеризации лазерным излучением методом автоматизированного проецирования. Этот способ применяется при изготовлении эксперим. моделей и образцов техн. и медицинских изделий сложной формы, а также пресс-форм разл. назначения. Фотостереолитография существенно сокращает время, необходимое для отработки конструкции новых изделий.

Литература по

Боков Ю. С., Фото-, электронно- и рентгенорезисты, М., 1982; Лазаренко Э. Т., Фотохимическое формование печатных форм, Львов, 1984; Слуцкин А. А., Справочник технолога-полиграфиста, ч. 2. Копировально-множительные процессы, М., 1989. В. А. Барачевский.

к библиотеке к оглавлению FAQ по эфирной физике ТОЭЭ ТЭЦ ТПОИ ТИ

Знаете ли Вы, как разрешается парадокс Ольберса?
(Фотометрический парадокс, парадокс Ольберса - это один из парадоксов космологии, заключающийся в том, что во Вселенной, равномерно заполненной звёздами, яркость неба (в том числе ночного) должна быть примерно равна яркости солнечного диска. Это должно иметь место потому, что по любому направлению неба луч зрения рано или поздно упрется в поверхность звезды.
Иными словами парадос Ольберса заключается в том, что если Вселенная бесконечна, то черного неба мы не увидим, так как излучение дальних звезд будет суммироваться с излучением ближних, и небо должно иметь среднюю температуру фотосфер звезд. При поглощении света межзвездным веществом, оно будет разогреваться до температуры звездных фотосфер и излучать также ярко, как звезды. Однако в дело вступает явление "усталости света", открытое Эдвином Хабблом, который показал, что чем дальше от нас расположена галактика, тем больше становится красным свет ее излучения, то есть фотоны как бы "устают", отдают свою энергию межзвездной среде. На очень больших расстояниях галактики видны только в радиодиапазоне, так как их свет вовсе потерял энергию идя через бескрайние просторы Вселенной. Подробнее читайте в FAQ по эфирной физике.

НОВОСТИ ФОРУМА

Рыцари теории эфира