Фотолитография - способ формирования изделий разл. типа с использованием светочувствит. материалов.
Ф. применяется в полиграфии для фотомеханич. изготовления печатных форм на формном
материале (камне или металлич. пластине) в результате фотодубления или фотополимеризации
светочувствит. слоя. Этот способ отличается высокой трудоёмкостью и многооперационностью,
но широко используется для изготовления офсетных форм, обеспечивающих высококачеств.
воспроизведение сложных оригиналов. В процессе фотодубления-применяются поливиниловый
спирт, низкомолекулярные смолы (связующие), соли хрома и диазосоединения (сенсибилизаторы),
обеспечивающие фотосшивку макромолекул. В состав фотополимеризующихся
композиций входят мономеры или низкомолекулярные полимеры и инициаторы фотополимеризации,
сенсибилизаторы.
В электронике Ф. используется
для формирования рельефного рисунка в слое металла, диэлектрика или полупроводника
с применением фоторезистов и источников УФ-излучения в процессе изготовления
интегральных схем и др. электронных устройств. В зависимости от требуемого
размера элементов интегральных схем применяют контактную (при низком разрешении)
или проекционную (при высоком разрешении) Ф. Проекционная Ф. обеспечивает создание
сверхбольших интегральных схем типа дина-мич. оперативных запоминающих устройств
ёмкостью до 64 Мбит и более при использовании наиб. коротковолнового УФ-излучения
эксимерных лазеров ( l~=193 нм). При этом предельные мин. размеры элементов
сверхбольших интегральных схем, получаемых методом Ф., практически ограничиваются
интерференцией и дифракцией света и достигают 0,35 мкм.
С 90-х гг. развивается т. н. ф о т о с т е р е о л и т о г р а-ф и я-способ получения объёмных изделий из жидких фотополимеризующихся композитов путём послойной фотополимеризации лазерным излучением методом автоматизированного проецирования. Этот способ применяется при изготовлении эксперим. моделей и образцов техн. и медицинских изделий сложной формы, а также пресс-форм разл. назначения. Фотостереолитография существенно сокращает время, необходимое для отработки конструкции новых изделий.
|
|
 |
