Датчик Холла - полупроводниковый прибор, преобразующий на основе Холла эффекта индукцию внеш. магн. поля в электрич. напряжение. Представляет собой тонкую пластинку (или плёнку) полупроводника (напр., Si, Ge, GaAs, InSb), укреплённую (напылённую) на прочной подложке из диэлектрика (слюды, керамики, феррита), с четырьмя электродами для подведения тока и съёма эдс Холла (VX).
При помещении X. д. в магн. поле с индукцией В, направ-
ленной перпендикулярно пластине (рис.), на осн. носители заряда действует сила Лоренца F
=q[uB], отклоняющая их
к одной из граней пластины (q - заряд, u-скорость носителя
заряда). Накопление носителей заряда у одной из граней и их недостаток у другой
приводит к образованию электрич. поля ЕX и VХ. Поле EX препятствует накоплению зарядов, и, как
только создаваемая им сила станет равной силе
Лоренца (qEX = quB), разделение зарядов прекратится.
Т. к. эдс Холла Vx = EXd=uBd, то при толщине
пластины а
где R=1/p или
R=1/n - коэф. Холла (р, п - концентрации положит. и отрицат.
носителей заряда соответственно). Для увеличения магниточувствительности X.
д. необходимо увеличивать R, т. е. уменьшать концентрацию осн. носителей
заряда. Однако в полупроводнике, близком к собственному, коэф. R~mp2-
m2nn резко уменьшается при nр.
При питании датчика Холла от источника напряжения V эдс Холла VX= VBmd/l, где m - подвижность
осн. носителей заряда. Коэф. использования X. д. h = Рн/Рвх~(mВ)2, где Рвх - мощность, потребляемая входной цепью,
Рн - мощность, выделяемая во внеш. нагрузке; поэтому
для создания X. д. необходимо использовать полупроводники с высокой подвижностью
носителей заряда. К таким материалам относятся германий, арсенид галлия, антимонид
индия.
Датчики Холла широко применяют в устройствах измерителей магн. индукции и в аналоговых вычислит. машинах в качестве умножит. элементов. Разработан ряд интегральных схем со встроенным датчиком Холла. Схемы могут быть либо с аналоговым выходом (выходной сигнал пропорц. В), либо цифровым (при определённом В выходное напряжение скачком изменяется от минимального до максимального). На их основе созданы датчики перемещения, измерители частоты вращения, электронные компасы, бесконтактные переключатели, бесколлекторные электродвигатели пост. тока и т. д.
И. М. Викулин.