Эксимерный лазер - газовый лазер ,работающий
на электронных переходах эксимерных молекул (молекул, существующих только в
электронно-возбуждённых состояниях). Зависимость потенц. энергии взаимодействия
атомов эксимерной молекулы, находящейся в основном электронном состоянии, от
межъядерного расстояния является монотонно спадающей функцией, что отвечает отталкиванию
ядер. Для возбуждённого электронного состояния, являющегося верх, уровнем лазерного
перехода, такая зависимость имеет минимум, определяющий возможность существования
самой эксимерной молекулы (рис.). Время жизни возбуждённой эксимерной молекулы
ограничено
Зависимость энергии
эсимерной молекулы от расстояния R между составляющими её атомами X и
Y; верхняя кривая - для верхнего лазерного уровня, нижняя кривая-для нижнего
лазерного уровня. Значения соответствуют
центру линии усиления активной среды, её
красной и фиолетовой границам. временем
её радиац. распада. Поскольку ниж. состояние лазерного перехода в Э. л. опустошается
в результате разлёта атомов эксимерной молекулы, характерное время к-рого (10-13
- 10-12 с) значительно меньше времени радиац. опустошения верх, состояния
лазерного перехода, газ, содержащий эксимерные молекулы, является активной
средой с усилением на переходах между возбуждёнными связанными и основным
разлётным термами эксимерной молекулы.
Основу активной среды Э. л. составляют обычно
двухатомные эксимерные молекулы - короткоживущие соединения атомов инертных
газов друг с другом, с галогенами или с кислородом. Длина волны излучения Э.
л. лежит в видимой или ближней УФ-области спектра. Ширина линии усиления лазерного
перехода Э. л. аномально велика, что связано с разлётным характером нижнего
терма перехода. Характерные значения параметров лазерных переходов для наиб,
распространённых Э. л. представлены в таблице.
Параметры эксимерных лазеров
Оптимальные параметры активной среды Э. л. соответствуют
оптимальным условиям образования эксимерных молекул. Наиб, благоприятные условия
для образования димеров инертных газовсоответствуют
диапазону давлений 10-30 атм, когда происходит интенсивное образование таких
молекул при тройных столкновениях с участием возбуждённых атомов:
При столь высоких давлениях наиболее эфф. способ
введения энергии накачки в активную среду лазера связан с пропусканием через
газ пучка быстрых электронов, к-рые теряют энергию преим. на ионизацию атомов
газа. Конверсия атомных ионов в молекулярные
и последующая диссоциативная рекомбинация молекулярных ионов
сопровождающаяся образованием возбуждённых атомов
инертного газа, обеспечивают возможность эфф. преобразования энергии пучка быстрых
электронов в энергию эксимерных молекул
Лазеры на димерах инертных газов характеризуются
кпд ~1%. Осн. недостатком лазеров данного типа является чрезвычайно высокое
значение уд. порогового энерговклада, что связано с малой длиной волны лазерного
перехода и значит, шириной линии усиления. Это накладывает высокие требования
на характеристики электронного пучка, используемого в качестве источника накачки
лазера, и ограничивает значения выходной энергии лазерного излучения на уровне
долей Дж (в импульсе) при частоте повторения импульсов не выше неск. Гц. Дальнейшее
увеличение выходных характеристик лазеров на димерах инертных газов зависит
от развития техники электронных ускорителей с длительностью импульса электронного
пучка порядка десятков не и энергией пучка ~кДж.
Существенно более высокими выходными характеристиками
отличаются Э. л. на моногалогенидах инертных газов RX*, где X - атом галогена.
Молекулы этого типа эффективно образуются при парных соударениях, напр.или
Указанные процессы протекают с достаточной интенсивностью
уже при давлениях порядка атмосферного, поэтому проблема введения энергии в
активную среду таких лазеров оказывается технически значительно менее сложной,
чем в случае лазеров на димерах инертных газов. Активная среда Э. л. на моногалогенидах
инертных газов состоит из одного или неск. инертных газов при давлении порядка
атмосферного и нек-рого кол-ва (~10-2 атм) га-логеносодержаших молекул.
Для возбуждения лазера применяется либо пучок быстрых электронов, либо импульсный
электрич. разряд. При использовании пучка быстрых электронов выходная энергия
лазерного излучения достигает значений ~ 103 Дж при кпд на уровне
неск. процентов и частоте повторения импульсов значительно ниже 1 Гц. В случае
использования электрич. разряда выходная энергия лазерного излучения в импульсе
не превышает долей Дж, что связано с трудностью формирования однородного по
объёму разряда в значит, объёме при атм. давлении за время ~ 10 нс. Однако при
применении электрич. разряда достигается высокая частота повторения импульсов
(до неск. кГц), что открывает возможности широкого практич. использования лазеров
данного типа. Наиб. широкое распространение среди Э. л. получил лазер на XeCl,
что связано с относительной простотой реализации работы в режиме высокой частоты
повторения импульсов. Cp. выходная мощность этого лазера достигает уровня 1
кВт.
Наряду с высокими энергетич. характеристиками
важной привлекательной особенностью Э. л. является чрезвычайно высокое значение
ширины линии усиления активного перехода (табл.). Это открывает возможность
создания мощных лазеров УФ- и видимого диапазонов с плавной перестройкой длины
волны в достаточно широкой области спектра. Указанная задача решается с помощью
инжекционной схемы возбуждения лазера, включающей в себя маломощный генератор
лазерного излучения с длиной волны, перестраиваемой в пределах ширины линии
усиления активной среды Э. л., и широкополосный усилитель. Эта схема позволяет
получить лазерное излучение с шириной линии ~ 10-3 HM, перестраиваемое
по длине волны в диапазоне шириной ~ 10 HM и более.
Э. л. широко используются благодаря своим высоким энергетич. характеристикам, малой длине волны и возможности её плавной перестройки в довольно широком диапазоне. Мощные моноимпульсные Э. л., возбуждаемые электронными пучками, применяются в установках по исследованию лазерного нагрева мишеней с целью осуществления термоядерных реакций (напр., KrF-лазер сHM, выходной энергией в импульсе до 100 кДж, длительностью импульса ~ 1 не). Лазеры с высокой частотой повторения импульсов, возбуждаемые импульсным газовым разрядом, используются в технол. целях при обработке изделий микроэлектроники, в медицине, в экспериментах по лазерному разделению изотопов, при зондировании атмосферы в целях контроля её загрязнения, в фотохимии и в эксперим. физике в качестве интенсивного источника монохроматич. излучения УФ- или видимого диапазона.